安(ān)裝(zhuāng)條件(jiàn)

本設筐要求在海拔(bá)1000m以下(xià)，溫度25。。=15。（2,濕度(dù)55%Rh=10%Rh下使(shǐ)用(yòng)。

1
， 水：不需要(yào)

2
， 電：AC220\'50Hz,必(bì)須有(yǒu)良好(hǎo)接(jiē)地

3
， 氣：如(rú)作為CVD係(xì)統(tǒng)使(shǐ)用，需自備氣(qì)源（標準(zhǔn)帝有(yǒu)寶塔(tǎ)接頭(tóu)，可自斐(fěi)改製(zhì)成(chéng)為雙卡套(tào)接頭）

4
， 工作台(tái)：R\T600mmx600mmx700mm,承(chéng)重 100kg以上

5
， 通風裝豈(qǐ):—需要(yào)

主(zhǔ)要特(tè)點

1
， 雙(shuāng)層(céng)殼體(tǐ)，甑有循環(huán)風冷(lěng)係(xì)統。

2
， 爐體(tǐ)釆用高純度氧(yǎng)化(huà)鋁多晶纖維保(bǎo)溫材(cái)料，大成(chéng)都的(dí)減少能裏(lǐ)的(dí)損失。

3
， 內(nèi)爐膛表(biǎo)麵(miàn)塗有進口氧(yǎng)化鋁塗(tú)層，可以(yǐ)提(tí)高(gāo)反(fǎn)射(shè)率及潔浄(jìng)度。

4
， 為(wéi)了(liǎo)防止(zhǐ)熱(rè)裏(lǐ)以(yǐ)熱輻(fú)射(shè)的形式損失，甑有兩套氧化(huà)鋁管堵。

5
， 采用(yòng)PID控製器，可(kě)以設置30段升降(jiàng)溫(wēn)程(chéng)序。

6
， 已通過CE認證。

技術參教

1
， 電源：AC220V 1.2KW

2
， 石英管(guǎn)：外徑025mm，內(nèi)徑020mm，長450mm

外(wài)徑(jìng)050mm, 內徑(jìng)043mm，長450mm

3
， 加熱元(yuán)件(jiàn)：摻鑰(yuè)鐵(tiě)銘(míng)鋁(lǚ)合(hé)金電阻絲，表(biǎo)麵(miàn)塗有(yǒu)氧化(huà)錯

4
， 加熱(rè)區(qū)域：200mm

5
， 工作溫度(dù)：高(gāo)1200‘C «lh），連續工作(zuò)1100°C

6
， 大(dà)升(shēng)降(jiàng)溫速(sù)率:10°C min

7
， 控(kòng)溫精度(dù)：±rc

8
， 真(zhēn)空度(dù)：10-²torr （機械泵(bèng)）

產品規格(gé)

尺寸：750mmX 300mm X400mm；重(zhòng)裏：ISks

標準反件

1 氧化鋁(lǚ)管(guǎn)堵(dǔ) 2套

2 不(bù)鏽(xiù)鋼(gāng)法蘭(lán) 1套

可迭聲(shēng)件

1
， 石英營堵

2
， 波(bō)

3
， 數字(zì)真空(kōng)計

4
， KF25轉(zhuǎn)換接頭

5
， 卡套接頭(tóu)（06.35mm，可(kě)使爐管(guǎn)內獲得微(wēi)正壓(yā)）