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高低溫真(zhēn)空(kōng)磁場(cháng)探(tàn)針台

簡要(yào)描述:高低溫(wēn)真空磁(cí)場探(tàn)針台探針台(tái)配(pèi)備4個(可選6個或8個(gè))擁有(yǒu)高精度位移的(dí)探(tàn)針(zhēn)臂(bì),同時(shí)配有高精度(dù)電(diàn)子顯微鏡,便(biàn)於微(wēi)小樣品的觀(guān)察操作。探(tàn)針可(kě)通過直流或者(zhě)低(dī)頻(pín)交(jiāo)流信號(hào),用來測(cè)試芯(xīn)片,晶(jīng)圓片(piàn),封(fēng)裝(zhuāng)器件等(děng),廣泛(fàn)應用(yòng)於半(bàn)導體工業,MEMS ,超(chāo)導,電子學,鐵(tiě)電子學,物理學,材料(liào)學和生(shēng)物醫(yī)學(xué)等領域。

產(chǎn)品(pǐn)型號(hào):

所屬分(fēn)類:電(diàn)磁學(xué)係列(liè)

更新(xīn)時間(jiān):2023-08-04

廠商性(xìng)質:經銷商(shāng)

詳(xiáng)情(qíng)介紹
品牌(pái)其他(tā)品牌產地(dì)類別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域綜(zōng)合(hé)

 

高(gāo)低(dī)溫真(zhēn)空(kōng)磁場探(tàn)針(zhēn)台是(shì)具(jù)備(bèi)提(tí)供(gōng)高(gāo)低溫,真空以及(jí)磁場環境的(dí)高精(jīng)度實驗(yàn)台(tái),它的諸多設計都(dū)是專(zhuān)用(yòng)的。因(yīn)此(cǐ),高(gāo)低(dī)溫(wēn)磁場探(tàn)針(zhēn)台(tái)的配置主(zhǔ)要(yào)是根據用(yòng)戶(hù)的(dí)需(xū)求(qiú)進(jìn)行選配及(jí)設計(jì)。例(lì)如,要(yào)求(qiú)的磁(cí)場值,均匀區大(dà)小(xiǎo),均匀度大(dà)小,樣品(pǐn)台(tái)的(dí)尺(chǐ)寸等,均於(yú)磁力綫在一定(dìng)區域(yù)內產(chǎn)生的(dí)磁(cí)通(tōng)密(mì)度相(xiāng)關聯(lián);位移台還(huán)可與磁流(liú)體密(mì)封(fēng)搭配,實現(xiàn)水平方(fāng)向二維移動(dòng)和樣(yàng)品(pǐn)台(tái)360度(dù)轉(zhuǎn)動(dòng);除此之(zhī)外,該探(tàn)針台和高精度雙(shuāng)性恒流(liú)電源搭(dā)配使(shǐ)用戶(hù),可以磁場的(dí)高(gāo)穩定性。因(yīn)此,該類(lèi)型的探針台主要依據(jù)客戶的(dí)使用情況(kuàng)進(jìn)行設(shè)計優化。

高低(dī)溫真(zhēn)空(kōng)磁(cí)場(cháng)探針台(tái)探(tàn)針台(tái)配備(bèi)4個(可選(xuǎn)6個或(huò)8個)擁(yōng)有高精(jīng)度位移的探(tàn)針(zhēn)臂,同(tóng)時配有高(gāo)精度電子顯(xiǎn)微鏡(jìng),便於微(wēi)小樣(yàng)品的觀(guān)察操(cāo)作。探針(zhēn)可通過(guò)直(zhí)流(liú)或者低(dī)頻(pín)交流(liú)信號(hào),用(yòng)來(lái)測(cè)試芯片,晶圓片(piàn),封裝器件(jiàn)等(děng),廣泛(fàn)應(yīng)用於半導體工業,MEMS ,超導,電(diàn)子學(xué),鐵(tiě)電子學(xué),物(wù)理學,材(cái)料學(xué)和(hé)生(shēng)物醫學(xué)等(děng)領(lǐng)域。 

應(yīng)用(yòng)範(fàn)圍:

磁特(tè)性(xìng)測試(shì),微(wēi)波特性測試,直(zhí)流(liú),RF特性測試,微電(diàn)子(zǐ)機械係(xì)統,超(chāo)導(dǎo)電性測(cè)試(shì),納(nà)米電(diàn)路的光電屬性(xìng),量子點和(hé)綫,高低(dī)溫真(zhēn)空環境下的芯(xīn)片測試,材料測試(shì),霍(huò)爾(ěr)測試,電磁輸運特(tè)性等。

 可選(xuǎn)附(fù)件:

þ 各類(lèi)DC探(tàn)針,高頻探針,主動式探(tàn)針(zhēn),電纜綫

þ CCDC-MOS視頻(pín)成像裝(zhuāng)置

þ Chuck運(yùn)動(dòng)裝(zhuāng)置(zhì)

þ 電(diàn)磁鐵係統/超(chāo)導磁(cí)鐵係(xì)統

þ 1Mpa正壓係統升級

þ 超高溫升(shēng)級(jí)選件(jiàn)

þ 超高真空(kōng)升級選(xuǎn)件

þ 各類探(tàn)針夾具

þ 屏蔽(bì)箱

þ 防(fáng)振(zhèn)桌(zhuō)

þ 轉接頭

þ 靜(jìng)音真空泵

 

技術指標(biāo):

高低溫真(zhēn)空磁(cí)場(cháng)探針台

型(xíng)號

T8-EM4

T8-EM5

T8-EM7


真(zhēn)空(kōng)度(dù)

真(zhēn)空(kōng)上(shàng)等(děng)高(gāo)達(dá)10-8Pa

腔體(tǐ)材(cái)質(zhì)

無(wú)磁(cí)不(bù)鏽(xiù)鋼或者鋁(lǚ)合金(jīn)

磁場範(fàn)圍

2000Gs @50mm

5000Gs@50mm

1T@50mm


磁(cí)場方向

水(shuǐ)平(可(kě)按用(yòng)戶要求設(shè)計(jì)成(chéng)豎(shù)直(zhí)方向(xiàng)的(dí))

配套(tào)電源

雙性電源±50A

雙(shuāng)性電源±70A

雙性電源±90A


電源(yuán)穩定性(xìng)

50ppm(可(kě)選(xuǎn)10ppm

製(zhì)冷方式

液氦/液氮(dàn)製冷/閉(bì)循環(huán)製冷機

溫(wēn)度範圍

5K-325K可選(xuǎn)500K

控(kòng)溫分辨率

0.001K控溫儀(yí)相(xiāng)關

溫度(dù)穩定(dìng)性

優(yōu)於(yú)0.1K依賴(lài)於控(kòng)溫儀

溫(wēn)度(dù)傳感器(qì)

矽(guī)二管/PT100/CernoxTM

傳感(gǎn)器(qì)數量(liáng)

樣(yàng)品台(tái),防(fáng)輻射(shè)屏(píng),探針(zhēn)臂各(gè)一(yī)個

樣品(pǐn)台尺寸(max

Φ50mm,平(píng)整度(dù)≤7μm

樣(yàng)品(pǐn)台固定方(fāng)式

真(zhēn)空(kōng)矽(guī)脂(zhī)/彈(dàn)簧(huáng)壓(yā)片

樣品台材質(zhì)

鍍(dù)金無(wú)氧(yǎng)銅(tóng)

顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)行程(chéng)

X,Y平麵2*2inch,精(jīng)度1μm,Z軸(zhóu)行程(chéng)≥50.8mm

放大倍(bèi)數

16~100X/20~4000X

真空(kōng)腔(qiāng)觀察窗(chuāng)尺寸

1inch

1.5inch

2inch


窗口材料

熔融石(shí)英(yīng)(可選K9,氟化鈣等)

探針(zhēn)臂(bì)數(shù)量(liáng)

2,4,6,8可(kě)選

探針臂(bì)行(háng)程

(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更(gēng)換(huàn)

位(wèi)移精度

10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

接(jiē)口形式

普通真(zhēn)空接(jiē)頭/三同軸接頭(tóu)/BNC/SMA

探(tàn)針(zhēn)直徑

0.51mm

針尖直徑(jìng)

10μm/5μm/1μm可選

探(tàn)針(zhēn)材(cái)料

/GGB

供電電壓(yā)

AC220V 50Hz/60Hz

AC380V 50Hz/60Hz


 



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