三(sān)維(wéi)磁場探針(zhēn)台(tái)能(néng)提供一(yī)維(wéi) ，二維 ，三(sān)維的(dí)磁(cí)場探(tàn)針(zhēn)台，采用無磁(cí)材(cái)料製成，一維 ，二(èr)維(wéi) ，三維三(sān)對(duì)亥姆霍(huò)茲(zī)綫圈正交(jiāo)放置，產生空(kōng)間(jiān)一維(wéi) ，二維(wéi) ，三(sān)維磁(cí)場(cháng)。綫(xiàn)圈可(kě)采(cǎi)用風(fēng)冷（磁場(cháng)較小(xiǎo)）也(yě)可采用(yòng)水(shuǐ)冷(lěng)結構（磁(cí)場較大），並且配備有(yǒu)綫圈(quān)過熱(rè)保護裝置。和高精(jīng)度雙(shuāng)性(xìng)直流電源配合(hé)使(shǐ)用(yòng)可(kě)以(yǐ)長(cháng)時間(jiān)穩定(dìng)工作。通過軟(ruǎn)件(jiàn)或者(zhě)電源控(kòng)製麵板上按(àn)鍵(jiàn)控製每(měi)一維上的輸(shū)出電流，可(kě)以(yǐ)產生(shēng)空(kōng)間(jiān)任意方向(xiàng)的矢(shǐ)量(liáng)磁場。探針(zhēn)台(tái)配(pèi)備(bèi)有可(kě)移動(dòng)樣品(pǐn)台，可(kě)以實現(xiàn)水平方向(xiàng)二維移動和(hé)樣品台(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng)，便(biàn)於樣(yàng)品(pǐn)的(dí)安裝(zhuāng)和測試。探針台具(jù)有(yǒu)四個(gè)高精(jīng)度(dù)探針(zhēn)臂，同時配有高(gāo)精度(dù)電子(zǐ)顯微鏡，便於(yú)微(wēi)小樣(yàng)品(pǐn)的觀察操作。探(tàn)針(zhēn)可(kě)通過(guò)直(zhí)流或者低(dī)頻交(jiāo)流(liú)信(xìn)號，用(yòng)來測試芯(xīn)片，晶(jīng)圓片，封(fēng)裝器(qì)件(jiàn)等(děng)。

應用範圍：廣(guǎng)泛應(yīng)用(yòng)於半導體工(gōng)業，MEMS ，超導(dǎo)，電(diàn)子學，鐵(tiě)電子(zǐ)學，物理學(xué)，材料(liào)學和生物醫(yī)學等(děng)領域(yù)。三(sān)維探(tàn)針(zhēn)台和(hé)高精度(dù)雙(shuāng)性電源相匹(pǐ)配，通(tōng)過真正(zhèng)的雙(shuāng)性(xìng)電(diàn)源輸(shū)出(chū)，實(shí)現(xiàn)了(liǎo)空(kōng)間(jiān)任(rèn)意方(fāng)向上的矢(shǐ)量場合(hé)成。

 可選附件：

þ 各類DC探針(zhēn)，高頻探針(zhēn)，主(zhǔ)動式探針，電纜綫

þ CCD或C-MOS視頻成(chéng)像(xiàng)裝(zhuāng)裝(zhuāng)置(zhì)

þ Chuck運動(dòng)裝(zhuāng)置(zhì)

þ 電磁鐵(tiě)係(xì)統(tǒng)/超(chāo)導(dǎo)磁鐵係統

þ 1Mpa正壓係(xì)統(tǒng)升級

þ 超高(gāo)溫升級選件(jiàn)

þ 超高真空升(shēng)級(jí)選(xuǎn)件

þ 各(gè)類探(tàn)針夾具(jù)

þ 屏蔽箱(xiāng)

þ 防振(zhèn)桌(zhuō)

þ 轉接(jiē)頭(tóu)      

þ 靜音真空(kōng)泵(bèng)

 技(jì)術指標：