美國SRS RGA係(xì)列殘餘氣(qì)體(tǐ)分(fēn)析儀(yí)

簡(jiǎn)要描述(shù)：美(měi)國(guó)SRS RGA係列(liè)殘餘(yú)氣體分(fēn)析儀
RGA係(xì)列殘(cán)餘氣體分析儀可(kě)以定量和定性分析出真空(kōng)腔中(zhōng)殘(cán)餘氣(qì)體的(dí)濃(nóng)度(dù)和成分。

產(chǎn)品型號：

所屬(shǔ)分類(lèi)：美(měi)國SRS真空(kōng)檢測設備(bèi)

更新時(shí)間：2023-08-04

廠(chǎng)商性質(zhì)：經銷商

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美國(guó)SRS RGA係列(liè)殘(cán)餘(yú)氣體(tǐ)分(fēn)析儀

RGA係(xì)列殘(cán)餘氣體(tǐ)分(fēn)析儀(yí)可以(yǐ)定量和(hé)定性分析(xī)出真(zhēn)空腔中殘(cán)餘(yú)氣體的濃(nóng)度(dù)和(hé)成分。

RGA係(xì)列(liè)殘餘氣(qì)體分析(xī)儀(yí)可(kě)以定量和(hé)定性分(fēn)析出真(zhēn)空(kōng)腔(qiāng)中(zhōng)殘(cán)餘氣(qì)體(tǐ)的(dí)濃度和(hé)成(chéng)分。
• 100，200，和300amu 優(yōu)於(yú)1amu 的(dí)分辨率(shuài)6 個量級(jí)的動態範(fàn)圍(wéi)可(kě)檢測(cè)5 x 10-14Torr

• 實時RGA Windows 和LabVIEW 軟(ruǎn)件(jiàn)質譜(pǔ)，泄(xiè)漏檢測(cè)和壓力對時間(jiān)方式現(xiàn)場(cháng)可更換(huàn)的(dí)電(diàn)子(zǐ)倍增(zēng)器(qì)和燈絲RS232 計算(suàn)機接口(kǒu)

殘餘氣(qì)體(tǐ)分析儀(yí)（RGA）劃分為RGA100，RGA200，RGA300amu三種型號(hào)，其(qí)優(yōu)異的(dí)性能(néng)和價值是(shì)真空分析(xī)儀的產品(pǐn)。每(měi)一(yī)個RGA 係統都由一(yī)個四(sì)級杆(gān)探(tàn)針(zhēn)和電子控(kòng)製單元組成(chéng)，實時(shí)分析(xī)windows 軟件(jiàn)包(bāo)可(kě)以更方便用於(yú)數據(jù)采(cǎi)集(jí)和(hé)分析，並可(kě)進行遠程(chéng)控製(zhì)。

探(tàn)測器類型	標準法(fǎ)拉第(dì)杯(FC), 可(kě)選電子倍(bèi)增 (EM)
分(fēn)辨率	優於0.5amu
靈敏度(A/Torr)	2 × 10−4 (FC), <200 (EM)
探(tàn)測(cè)極限	5 × 10−11 Torr (FC), 5 × 10−14 Torr (EM)
測試範圍	10−4 Torr to UHV (FC) 10−6 Torr to UHV (EM)
操作溫度	70℃ (max.)
工作(zuò)溫度	300℃ (without ECU)