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美(měi)國SRS PPR係列過(guò)程檢測(cè)係統(tǒng) 主(zhǔ)要(yào)應用(yòng)：真空在綫(xiàn)檢(jiǎn)測；高真(zhēn)空(kōng)成(chéng)份分(fēn)析；MOCVD 等(děng)在(zài)綫(xiàn)過程(chéng)監控(kòng)；10mTorr-10Torr 真空度內(nèi)反(fǎn)應(yīng)過(guò)程檢測等等
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美(měi)國SRS RGA係(xì)列殘餘氣(qì)體分析(xī)儀 RGA係(xì)列(liè)殘餘氣(qì)體分析儀可(kě)以定(dìng)量和定性(xìng)分析出(chū)真空(kōng)腔中殘餘氣體(tǐ)的濃度(dù)和(hé)成(chéng)分。
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