美國SRS PPR係(xì)列過(guò)程檢(jiǎn)測(cè)係(xì)統(tǒng)
簡要描(miáo)述:美(měi)國SRS PPR係列過程檢(jiǎn)測係統(tǒng)主要應(yīng)用:真空在綫(xiàn)檢(jiǎn)測;高(gāo)真(zhēn)空成份分(fēn)析;MOCVD 等在綫(xiàn)過程監(jiān)控;10mTorr-10Torr 真空度(dù)內反應過(guò)程檢(jiǎn)測等等(děng)
產品型號(hào):
所屬分(fēn)類:美國(guó)SRS真空檢測設(shè)備(bèi)
更新時間(jiān):2023-08-04
廠商性質:經銷商(shāng)
| 品(pǐn)牌(pái) | 其他品牌(pái) | 價(jià)格區(qū)間(jiān) | 麵議(yì) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別(bié) | 進(jìn)口(kǒu) | 應用(yòng)領域 | 醫療(liáo)衛(wèi)生,化工,生物(wù)產(chǎn)業,製藥(yào)/生(shēng)物製藥,綜(zōng)合 |
美(měi)國SRS PPR係列(liè)過(guò)程(chéng)檢測(cè)係統(tǒng)
主要應用:真(zhēn)空在綫檢測(cè);高真(zhēn)空(kōng)成份分(fēn)析;MOCVD 等在綫過程監控(kòng);10mTorr-10Torr 真(zhēn)空度(dù)內反(fǎn)應(yīng)過(guò)程(chéng)檢測(cè)等(děng)等(děng)
PPR過程(chéng)監控(kòng)係統(tǒng)是過程監(jiān)測和(hé)診(zhěn)斷的真空檢測儀。兩種不(bù)同的進氣路(lù)徑提供(gōng)給殘(cán)餘氣體(tǐ)分析(xī)儀(RGA):一路(lù)高壓進氣模(mó)式用來檢測基本(běn)真(zhēn)空,一路(lù)分壓(yā)模式用(yòng)來檢測過程壓(yā)力。壓(yā)力減少(shǎo)路徑包(bāo)含一個微(wēi)小孔(kǒng)徑(jìng),其(qí)目(mù)的是使(shǐ)運行(háng)壓(yā)力(lì)工作在0.01,0.1,1或(huò)10Torr。 它使(shǐ)待測(cè)壓力環(huán)境(jìng)滿足(zú)RGA的工作要求(qiú)約(yuē)10-6 Torr。 這種壓力控製(zhì)係統(tǒng)是由渦(wō)輪(lún)分子的混(hùn)合泵和(hé)隔膜甭(béng)組成。 兩台(tái)泵為無油工(gōng)作(zuò),不(bù)會汙染您的操(cāo)作(zuò)係(xì)統。
PPR進氣接(jiē)口鏈(liàn)接到被(bèi)檢(jiǎn)測的過(guò)程檢測係統(tǒng)有(yǒu)幾種(zhǒng)方法(fǎ)。 該(gāi)係統包括(kuò)RGA,旁通閥和三(sān)通,控(kòng)製器(qì),渦輪泵,隔膜泵(bèng),和Windows 軟件(jiàn)程序(xù)進(jìn)行數據采(cǎi)集和控(kòng)製。
該軟(ruǎn)件(jiàn)可用於(yú)多(duō)種(zhǒng)模式,包括模擬(nǐ)掃描(miáo),直方圖模式(shì),壓力與時間模式(shì)。雙路法(fǎ)拉第(dì)杯和(hé)電子倍(bèi)增(zēng)器檢測(cè)器(qì),電子倍增器提供更高的靈敏度和較高的掃(sǎo)描速度(dù)。PPR係統出廠(chǎng)時組(zǔ)裝校(xiào)準(zhǔn),可便(biàn)捷的連(lián)接到(dào)真空(kōng)係統(tǒng)中(zhōng)。
主要(yào)應(yīng)用(yòng):真空在(zài)綫檢(jiǎn)測(cè);高真(zhēn)空成份分(fēn)析;MOCVD 等在綫(xiàn)過程監控;10mTorr-10Torr 真空度(dù)內(nèi)反應(yīng)過(guò)程(chéng)檢測等(děng)等

主(zhǔ)要性(xìng)能(néng)
0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr進口壓力
3 × 10-5 Torr-L/s流量
2秒的響(xiǎng)應時間(jiān)(0.1Torr)
100,200或300amu係(xì)統(tǒng)
現場可(kě)替(tì)換的(dí)電(diàn)子(zǐ)培(péi)增管和燈絲(sī)
6個數量級(jí)動(dòng)態範圍
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