您(nín)的位置：光炎量子效(xiào)率(shuài)分(fēn)析(xī)儀光傳感器晶(jīng)圓測試(shì)儀
簡(jiǎn)要描述：SG-O光炎(yán)量子(zǐ)效(xiào)率(shuài)分析儀光傳(chuán)感器(qì)晶圓(yuán)測試(shì)儀(yí)是一(yī)款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓(yuán)測試(shì)儀(yí)，它(tā)結合了(liǎo)高度均匀的(dí)光源(yuán)和半(bàn)自動晶(jīng)圓(yuán)探測器(qì)。
產(chǎn)品(pǐn)型號(hào)： SG-O
所屬分類：光焱量子(zǐ)效(xiào)率測量係(xì)統(tǒng)
更(gēng)新時(shí)間：2024-10-10
廠商(shāng)性(xìng)質(zhì)：經銷商(shāng)
| 品(pǐn)牌 | 其(qí)他品牌 | 應用領域(yù) | 醫(yī)療(liáo)衛(wèi)生(shēng),化(huà)工,生物(wù)產業,能(néng)源(yuán),電子/電(diàn)池 |
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提供(gōng)您在(zài)CIS/ALS/光傳(chuán)感器晶圓(yuán)級測(cè)試(shì)中所需(xū)的一切(qiē)。
SG-O光炎(yán)量子(zǐ)效(xiào)率分(fēn)析(xī)儀光傳感器晶圓(yuán)測試儀是(shì)一款(kuǎn)CIS/ALS/Light-Sensor晶(jīng)圓測試儀，它結(jié)合(hé)了高度(dù)均匀的光源和半(bàn)自(zì)動晶圓探測(cè)器(qì)。高度均(jūn)匀光(guāng)源可(kě)以(yǐ)提供從400nm到(dào)1700nm的(dí)連(lián)續(xù)白光光(guāng)譜，以及在許(xǔ)多不(bù)同波長(cháng)下具有(yǒu)一定FWHM的單色(sè)光(guāng)輸出(chū)。探(tàn)測器可以處理(lǐ)大(dà)。200mm晶(jīng)圓(yuán)尺寸(cùn)和尺寸大(dà)於1cmx1cm的單(dān)芯片(piàn)。SG-O集成(chéng)了(liǎo)超(chāo)低(dī)噪(zào)音(yīn)熱卡盤，可提供(gōng) -60°C至180°C的(dí)溫(wēn)度範圍(wéi)，具(jù)有(yǒu)快(kuài)速的升溫速(sù)度(dù)和(hé)穩(wěn)定性。SG-O提(tí)供您(nín)在(zài)CIS/ALS/光傳(chuán)感器設計(jì)驗證或工藝良(liáng)率(shuài)檢查中所(suǒ)需(xū)的(dí)一(yī)切。
SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓(yuán)測(cè)試儀(yí)特點(diǎn)：
●高度均匀(yún)的光(guāng)源(yuán)
從 UV 到 SWIR 的寬(kuān)光譜(pǔ)範(fàn)圍
超過50mmx50mm區域的高度均(jūn)匀(yún)性超(chāo)過98%
超(chāo)穩定光強度，可維持不(bù)穩(wěn)定(dìng)性<0.2%長達(dá)10小時以上
高光(guāng)強動(dòng)態範圍，高(gāo)達140dB
●可編(biān)程自動(dòng)探測(cè)器
200mm~10mm晶圓或(huò)芯片處理能力(lì)
用(yòng)於準(zhǔn)確可靠的(dí)DC / CV，RF測量
穩定(dìng)的(dí)功能(néng)顯微(wēi)鏡係統
整(zhěng)合(hé)硬(yìng)件(jiàn)控(kòng)製麵板(bǎn)
自動晶(jīng)圓(yuán)裝載(zǎi)機(jī)
智能(néng)晶圓映射(shè)
●寬(kuān)溫(wēn)低(dī)噪音卡(qiǎ)盤
模(mó)塊(kuài)化(huà)卡(qiǎ)盤
-80°C至(zhì)180°C的寬溫度範(fàn)圍
*CDA熱(rè)控(kòng)製技術(shù)，高(gāo)斜(xié)坡率和(hé)高T穩(wěn)定(dìng)性
用於CIS/ALS/光傳(chuán)感(gǎn)器(qì)晶(jīng)圓測(cè)試的(dí)超低噪聲(shēng)
應(yīng)用(yòng)：
CIS/ALS/光傳感(gǎn)器(qì)晶圓測(cè)試
CIS/ALS/光(guāng)傳感器晶圓映(yìng)射和(hé)良率檢查
ToF傳(chuán)感(gǎn)器測試
激光(guāng)雷(léi)達傳(chuán)感(gǎn)器測(cè)試
InGaAs PD測(cè)試
SPAD傳(chuán)感器(qì)測試
光傳感器模(mó)擬(nǐ)參數測試：
量(liáng)子效(xiào)率(shuài)
光譜響應
係統(tǒng)增益
靈敏(mǐn)度(dù)
動態(tài)範圍
暗電(diàn)流/噪(zào)聲
信噪(zào)比
飽和容量
綫(xiàn)性誤(wù)差（LE）
DCNU（暗(àn)電(diàn)流(liú)非均匀(yún)性(xìng)）
PRNU（光響(xiǎng)應(yīng)非均(jūn)匀性(xìng)）
係統(tǒng)設計：
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor測試儀（晶(jīng)圓(yuán)級(jí)）係統(tǒng)圖(tú)。高度均匀的光源由PC-1控製。光(guāng)輸(shū)出由光(guāng)纖引(yǐn)導到(dào)光(guāng)學(xué)均化器以產(chǎn)生(shēng)均(jūn)匀的光束(shù)。顯微鏡和(hé)均質(zhì)器由(yóu)PC-1的(dí)自(zì)動平(píng)移(yí)台控製，以(yǐ)切(qiē)換(huàn)位(wèi)置(zhì)和功能(néng)。Prober係(xì)統為MPI TS2000，由PC-2 控(kòng)製。卡(qiǎ)盤(pán)台的(dí)位(wèi)置也(yě)由(yóu)PC-2控(kòng)製。熱卡(qiǎ)盤(pán)溫度(dù)可控(kòng)製(zhì)在(zài)-55℃至(zhì)180℃，涵蓋(gài)了(liǎo)大部分 IC測(cè)試溫(wēn)度(dù)範(fàn)圍。光(guāng)強(qiáng)度由(yóu)一個(gè)Si 光(guāng)電探(tàn)測(cè)器(qì)和(hé)一個(gè)InGaAs光電探(tàn)測器(qì)通過皮(pí)安(ān)電流表(biǎo)檢測和(hé)校(xiào)準。
規(guī)格(gé)：
高度均匀的(dí)光源
光(guāng)譜範圍：400nm至1700nm
色溫(wēn)：3000K至(zhì)5200K
均(jūn)匀(yún)照明麵積：42mmx25mm，工(gōng)作距離(lí)>200mm
照(zhào)度(dù)均匀度(dù)：優於98%
短(duǎn)期(qī)光(guāng)不(bù)穩(wěn)定性：≤1%超(chāo)過(guò)1小(xiǎo)時
長期(qī)光不穩定性：≤1%超(chāo)過10小(xiǎo)時
DUT與(yǔ)後一(yī)個(gè)光學組件(jiàn)之間的工作距離：≥200mm工(gōng)作距離
單色光生成：
10nm FWHM 中心(xīn)波長：420nm,450nm,490nm,510nm,550nm,570nm,620nm,670nm,680nm,710nm,780nm,870nm
25nm FWHM 中(zhōng)心波長(cháng)：1010nm,1250nm,1450nm
45±5nm FWHM 中(zhōng)心(xīn)波長：815nm
50nm FWHM 的(dí)中心(xīn)波(bō)長：1600nm
60±5nm FWHM 中(zhōng)心(xīn)波長：650nm
70±5nm FWHM 的(dí)中心波(bō)長：485nm,555nm
100±5nm FWHM 的(dí)中(zhōng)心波(bō)長：1600nm
帶(dài)外(wài)透(tòu)光率≤0.01%
帶通(tōng)區峰值(zhí)傳輸≥80%
中心波長(cháng)容差(chà)：(a)≤±2nm；(b)~(g)≤±5nm
FWHM容差(chà)：(a)≤±2nm；(b)~(g)≤±5nm
可變衰減(jiǎn)器(qì)：PC控製的(dí)3-decade分辨(biàn)率，至(zhì)少1000步
半(bàn)自(zì)動晶(jīng)圓(yuán)探針
晶圓尺寸能力：200mm，150mm，100mm晶圓和尺寸大(dà)於(yú)1cmx1cm的(dí)單芯片(piàn)
晶(jīng)圓(yuán)處理：單晶圓(yuán)，手動進料型
半(bàn)自(zì)動(dòng)化(huà)：一(yī)步手動(dòng)對準教(jiào)和自動模步進
XYZ 平(píng)台(tái)
卡盤(pán) XY 載(zǎi)物(wù)台(tái)行(háng)程(chéng)：210mmx300mm
卡盤(pán) XY 平台分(fēn)辨率：優(yōu)於0.5um
夾頭 XY 平(píng)台精度(dù)：優於2.0um
卡(qiǎ)盤(pán) XY 平台速(sù)度(dù)：慢(màn)：10微米/秒(miǎo)，快：50毫(háo)米/秒
Chuck Z 載(zǎi)物(wù)台行程(chéng)：50mm
Chuck Z 平(píng)台分辨率：0.2um
卡盤(pán) Z 平台精(jīng)度(dù)：±2.0um
Theta平(píng)台(tái)
Theta載(zǎi)物台行程(chéng)：±5度(dù)運動範(fàn)圍
Theta分辨率：優於(yú)0.01度
Theta精(jīng)度(dù)：0.1度
卡(qiǎ)盤
卡(qiǎ)盤平(píng)整(zhěng)度≤10um
卡盤(pán)熱操作：-60°C至200°C
25°C時的卡盤泄(xiè)漏(lòu)：25°C時在10V偏(piān)壓下(xià)每個(gè)電(diàn)壓≤20fA
卡(qiǎ)盤(pán)剩餘(yú)電容≤95fF
探針(zhēn)卡
探(tàn)針卡尺寸(cùn)：4.5英(yīng)寸(cùn)至8英(yīng)寸長(cháng)
探(tàn)針(zhēn)卡座與(yǔ)壓板(bǎn)之間(jiān)的間隙：≥7.5mm
微型(xíng)腔(qiāng)室
EMI屏蔽：在 1kHz 至(zhì) 1MHz 範圍(wéi)內≥30dB
係統(tǒng)交流噪聲(shēng)：≤ 5mVp -p
微(wēi)型(xíng)定(dìng)位器
顯微(wēi)鏡
隔振台(tái)
光(guāng)譜輻照度(dù)計(jì)
光譜範圍：400nm至1600nm
波長分辨率(shuài)：400nm到1000nm 增加(jiā)步(bù)長<1nm；1000nm到1600nm 增加步(bù)長<3.5nm
校(xiào)準：NIST可追溯校(xiào)準證書(shū)
主要(yào)表(biǎo)現(xiàn)
SG-O係(xì)統的操作軟件(jiàn)。對(duì)於高度均(jūn)匀(yún)光源控製軟件(jiàn)，SG-O提供(gōng)光(guāng)源係統(tǒng)控製(zhì)和光強(qiáng)測量(liáng)。提供了各個(gè)光學組件的 Labview功能(néng)調(tiáo)色(sè)板，驅動程(chéng)序/DLL文件(jiàn)。該(gāi)軟件(jiàn)控製所述(shù)平移(yí)台(tái)以促(cù)進照射大(dà)是在零(líng)件的(dí)設備。集(jí)成鏈接的整合包(bāo)括(kuò)發送/接收命(mìng)令，例如芯片步(bù)進(jìn)，芯片(piàn)對(duì)齊(qí)/探測(cè)等。
地址：北京市房山區(qū)長(cháng)陽(yáng)萬(wàn)興(xīng)路86號-A529
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傳真：
咨(zī)詢(xún)電(diàn)話